安捷倫氣質擴散泵油和前級泵油
擴散泵
除非您觀察到與擴散泵油相關的故障，否則沒有必要在一年內換兩次擴散泵油。要檢查擴散泵油，必須先將 MSD 放空（5975/5973 除外）。因此，檢查泵油的時機是為了進行其他維護而已經放空儀器真空時。 
 

安捷倫氣質擴散泵油和前級泵油
前級泵
前級泵中的油應該平均每六個月更換一次，但也可以根據應用情況決定更換。泵油更換后，如果有前級捕集器，則應更換分子篩。 

避免接觸到泵油。某些樣品的殘留物可能有毒。用過的油要設當處置。

如何更換安捷倫質譜Agilent5975C 泵油：

1.放空質譜，關掉MS，放氣。拔掉MS電源線。

2.拆去出口和前級機械泵連接的管子。

3.斷開電纜連線，移出擴散泵，用鋁箔罩好頂部。

4 用GC柱箱60°C加熱15分鐘后，讓泵油流入底部的油箱中，移開泵芯。

5. 傾倒出泵油。放點二氯甲烷潤濕，用布檫干凈。

(擴散泵油： 6040-0809, 18.5ml X 2)

6 更換全部泵油，推薦37ml.

(注：更換泵油時，請使用防腐手套和安全眼鏡，避免與泵油接觸。